2023慕尼黑上海光博会(LASER World of PHOTONICS CHINA)于7月11-13日在上海国家会展中心隆重举行。展会吸引了全球光学与光学制造、检测与质量控制、激光智能制造等领域1100余家企业参展,八万余名海内外观众参观洽谈。兆维集团携自主研发的OLED显示面板贴合区AOI检测模块、 LCD切割后边缘检查模块亮相本次展会。
此次展出的OLED显示面板贴合区AOI检测模块是OLED显示面板亚微米裂纹检测设备的核心光学模块,采用明暗场多光谱成像技术、工业AI算法技术,可检出柔性OLED显示器件孔边缘区域、2D/2.5D/3D边缘区域微米级裂纹、彩虹纹等缺陷,检测分辨率最高可达到0.5微米。LCD 切割后边缘检查模块是显示面板玻璃板边缘检测设备核心光学模块,采用光路转折棱镜技术、一体伸缩式载台、传统机器学习与深度学习算法结合技术,可对显示面板边缘的研磨精度和切割精度进行量测,进行崩边、毛刺、裂纹等缺陷的自动光学检测。
当前,兆维集团依托机器视觉检测/量测核心技术,积极向半导体检测设备领域进行技术延伸和拓展,面向前道晶圆和先进封装市场,成功研制半导体晶圆级宏观缺陷测AOI设备,采用明/暗场高倍显微成像、模版比对结合深度学习的缺陷检测算法、高速飞拍与精密运动控制等技术,可以检出半导体前道晶圆制造ADI、AEI、API、OQA以及先进封装中道等各工艺过程产生的沾污、桥连、颜色异常等缺陷。检测分辨率实现从普通成像(几微米到几十微米)到高分辨率显微成像(小于0.25微米)能力创新突破。
展会上,多家产业链上下游展商、观众到兆维集团展台参观交流,通过样品实测、模型展示、案例交流等方式探讨检测领域前沿技术,寻求显示面板、半导体、新能源等领域应用场景的技术拓展。
着眼未来,兆维集团将继续坚持科技创新,依托自主“软件+硬件”技术开发平台,推动“检测+量测”的复合应用,强化产业链上下游协同联动,为半导体显示、集成电路等领域行业客户提供更为高效精准的国产化检测装备。