探针卡(probe card)是半导体工艺过程中晶圆测试(wafer test)中被测芯片(chip)和测试机之间的接口,其使用原理是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫(pad)或凸块(bump)直接接触,导出芯片讯号。再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测晶圆。
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